微型化热电堆传感器可以非接触性的测量物体温度。热电堆可以将温差转换电压测量外界红外辐射大小。瑶芯微的热电堆主要由MEMS热电堆芯片、RTC电阻和滤光片组成。其特征是功耗小、小型化、高灵敏度、耐高温。